蚌报融媒体首席记者 靳瑾 文/图

成立于2019年的安徽中科米微电子技术有限公司，不到四年的时间凭实力“破圈”，填平了从实验室到车间，从车间到产品的产业化鸿沟，成为光通信MEMS芯片全球第三、国内唯一的供应商。

“我们是国内首家专注光通信MEMS芯片的公司，特别是在MEMS微镜芯片产品方面完全实现了自主设计和国内制造，填补了国内空白。”站在千级净化车间外，公司总经理吴凯文颇为自豪地向记者介绍公司在光通信产业链中关键光MEMS芯片国产化的进展。

中科米微位于禹会区科创产业园，目前主要产品有光衰减器(VOA)、光开关(OSW)、光可调滤波器(TOF)、光扫描镜等光MEMS微镜芯片等，都是光通信网络核心模块中的关键芯片。2019年6月，中科米微选择蚌埠作为量产基地，在中国兵器工业第二一四研究所的MEMS加工生产平台上“加载”上海微技术工业研究院的基础技术和产品技术，不仅缩短了芯片研发和量产周期，更是填平了从实验室到车间，从车间到产品的产业化鸿沟。

中科米微工作人员在百级净化台开展表观检验

“光器件是宽带光通信系统的‘基石’，而光芯片则是光器件的‘核心’，光MEMS芯片在光通信系统中起到调谐、控制、监控、保护等关键功能。”在吴凯文的描述中，MEMS光器件能将人类带入智能光网络时代，推动5G的大规模运用，实现“光联万物”。然而在过去，光通信设备中MEMS芯片的核心技术和市场，一直被国外垄断。在公司核心团队20多年的积累后，中科米微拿出了自主研发的光通信MEMS芯片全产业链技术，并在蚌埠实现产业化，具备了完全自主的芯片结构和制造工艺的设计开发能力，并自主开发了适合量产、高效的光芯片晶圆级测试、光芯片检测技术和后道处理技术，打通了光MEMS芯片从设计到产品完整的产业环节。作为国内第一家自主研制且实现商用的蚌埠本土企业——因为掌握了一系列关键技术，加之能提前介入客户产品前期开发，因此在“成本”和“服务”上与国外同行相比都具有明显优势，落户蚌埠后一路高歌向前，去年销售额超过5000万元，一跃成为光通信MEMS芯片全球第三、全国唯一供应商。目前已申请专利30余项，其中14项得到授权，被称为业内的“追光者”。

落户蚌埠三年多的时间，吴凯文印象最深刻的不仅有实验室和净化车间内外的日日夜夜，更有蚌埠市政府和职能部门的服务保障。“我们刚来不久就赶上新冠疫情，对于初创团队来说是个很大的坎。但蚌埠市政府及时出手，不光给了减免房租的优惠政策，在各项政策奖补上更是足额到位，免除我们很大后顾之忧。”吴凯文透露，啃下了国产替代的硬骨头之后，企业又瞄准光通信领域的WSS、OXC等高端应用方向，以及HUD、激光雷达、3D激光扫描仪等激光扫描、激光传感、激光投影显示等市场应用，计划进一步开发出高端微镜阵列和扫描镜芯片等系列产品。

第五届中国（蚌埠）MEMS智能传感器产业发展大会即将举行，对中科米微说来，又意味着绝佳的机会。吴凯文说：“不仅能在会上与同行磋商交流，了解最新的MEMS技术发展方向以及MEMS行业的发展趋势，也能当面寻求合作伙伴。以蚌埠为原点，将我们的事业版图拓展到更广阔的天地。”