蚌埠发布客户端讯（融媒体记者 顾楷 文/图）记者从安徽北方微电子研究院集团有限公司了解到，6英寸高性能MEMS体硅工艺线扩产工程项目将于今年底形成达产能力。

MEMS技术是传感器产业发展未来趋势，是传统传感器替代方案的核心技术。2016年，依托北方微电子研究院，国内先进的6英寸高性能MEMS体硅工艺线在蚌建成。该工艺线拥有4套成熟工艺技术体系，具备成套工艺技术的开发能力，技术能力水平国内领先。通过这一工艺线，我市生产的惯性、压力、红外、微镜等MEMS传感器被广泛应用在汽车、医疗、高端工业等领域，与大量行业内领军企业和高等科研院校达成合作，推动产业快速发展。

图为正在进行净化改造的厂房

“万物互联都离不开传感器，传感器的核心就是我们晶圆加工平台的芯片。”北方微电子研究院半导体及MEMS工艺部副主任王文婧说，随着人工智能的发展，市场对MEMS传感器产品需求越来越大，公司原有的6英寸线产能已经远远满足不了市场需求，急需增产扩能。此次扩产项目竣工后，6英寸高性能MEMS体硅工艺线产能将实现翻番，不仅能有效解决当前市场对产品的迫切需求，更能够吸引更多优质客户落户蚌埠发展。

北方微电子研究院资产与改革管理部部长周福虎告诉记者，整个扩建工程项目总投资约10亿元，目前约7000平方米的厂房正在净化改造，预计上半年第一批设备完成进场。项目全部建成后，每月将新增晶圆加工产能约2000片。

作为国内中高端MEMS技术与产品的头部企业，北方微电子研究院拥有6英寸高性能体硅MEMS制造平台以及8英寸微系统集成研发平台，已累计完成60余款MEMS传感器产品工艺开发，涵盖了高性能MEMS惯性传感器、压力传感器、红外温度传感器、气体传感器、流量传感器、温湿度传感器、光MEMS执行器等领域，服务30多家国内一流的高校、研究所、企业，孵化上市公司3家，带动经济规模迈上百亿台阶，为打造MEMS传感器产业集群，引领带动国内智能传感器技术向规模化、产业化、高端化发展作出了重要贡献。