■ 安徽日报记者 孙言梅
版次：02 2023年04月25日
车用压差传感器、MEMS陀螺仪信号处理电器、MEMS加速度计……在中国（蚌埠）传感谷展示中心，种种传感领域的高精尖产品让人眼花缭乱。传感器“身量”不大，却是万物互联的关键。正是利用它采集数据，人与物“对话”、物与物“交流”成为可能。
中国（蚌埠）传感谷是省委、省政府重点支持建设的智能传感产业集聚区，与合肥“声谷”、芜湖“视谷”并称安徽省人工智能产业“三谷”，2021年启动建设。目前，中国（蚌埠）传感谷已聚集北方微电子研究院、芯动联科、希磁科技等一批行业领军及重点企业。
科技赋能
产业发展增添活力
日前，中国（蚌埠）传感谷展示中心展出一批新产品。其中，安徽北方微电子研究院集团有限公司自主研发的高稳定MEMS压力传感器芯片颇受关注。
“MEMS压力传感器是基于MEMS工艺技术和集成电路技术的压力测量器件，其体积小、成本低、可批量生产等特点，满足了消费电子、工业工程等行业需求。”北方微电子研究院半导体及MEMS工艺部副主任王文婧告诉记者。
依托MEMS国家地方联合工程实验室等研发平台，北方微电子研究院开发了高性能MEMS器件芯片的先进制造技术，在高性能惯性、微镜、环境感知等器件研制方面形成了国内领先的技术优势。
“技术创新是企业发展的‘命脉’。我们建成6英寸体硅MEMS制造平台及8英寸微系统集成研发平台，实现产业链制造端自主可控，累计完成60余款MEMS器件工艺开发，广泛应用于汽车、医疗、高端工业等领域。”王文婧说。
中国（蚌埠）传感谷园区按照“一谷三园多点”的产业集群总体布局，其中“三园”即MEMS核心器件产业园、科技孵化园、中央创新园。
目前，传感谷内组建了微电子机械系统（MEMS）国家地方联合工程实验室、安徽省智能传感器制造业创新中心、安徽省MEMS核心器件产业创新中心等近20个创新平台，初步形成集智能传感器设计、制造、测试、封装和应用于一体的完整产业体系，蚌埠也成为我省唯一同时拥有集成电路及多条MEMS晶圆生产线的城市。
芯动联科MEMS陀螺仪的主要技术指标达到中低精度光纤陀螺和激光陀螺，填补国内高端MEMS惯性传感器空白；北方微电子研究院“面向新一代超声诊疗的高性能MEMS换能器芯片关键技术研究”项目获2022年省“揭榜挂帅”立项……传感谷内持续涌现的创新成果，正不断提升智能传感产业的“含金量”。
筑巢引凤
产业项目加速集聚
在位于中国（蚌埠）传感谷的安徽禹芯半导体科技有限公司，100多台机器不停运转，自投产以来，该企业一直保持着产销两旺的态势。
“我们是最早一批入驻传感谷的项目。企业起初在苏州，后在宿州设厂，随着产能逐步扩大，需要新的研发生产基地。蚌埠经开区多次上门招商，积极宣传政策，帮助解决厂房用地等问题，坚定了企业来蚌发展的决心。”该公司市场部经理王会珍告诉记者。
为满足禹芯半导体企业生产需求，蚌埠经开区管委会工作人员积极对接、上门征求企业意见。很快，占地2万多平方米的定制化厂房拔地而起。得益于蚌埠市各级政府全流程服务，企业在较短时间内完成环评、装修、生产设备迁入、招工等工作，不到一年实现量产。
“蚌埠是全国三大传感器基地之一，产业基础和技术优势明显。相信从这里出发，我们一定能在传感器领域有所作为。”王会珍说。
目前，传感谷已建成产业空间和公共配套设施50万平方米，建成智能传感器生产线与8英寸MEMS晶圆制造线两大公共示范线，为入驻企业提供高端的芯片设计、工艺验证、晶圆制造、封装测试等全链条服务。
蚌埠市成立智能传感器产业专班，由市领导牵头调度，定期协调解决园区建设发展中的各类问题。同时，为入园重点项目匹配服务专员，实施全流程、一站式跟踪服务帮办。
“园区将配套建设人才公寓、污水处理中心、电镀产业园、大宗气站等设施，全方位服务传感器产业发展。”蚌埠经开区管委会主任唐广廷告诉记者。
8英寸MEMS晶圆线项目正在建设，融薇科技6英寸线年内投产……一批好项目大项目加速推进，为园区高质量发展蓄势聚能。目前，中国（蚌埠）传感谷集聚智能传感产业重点企业70余家，其中规模以上企业39家。
政策加持
产业生态不断优化
车用MEMS传感器芯片封测项目，便携式医疗测温用智能检测仪项目，智能家居研发制造项目……4月22日，在第五届中国（蚌埠）MEMS智能传感器产业发展大会上，总投资137亿元的40个项目集中签约落户中国（蚌埠）传感谷。
近年来，蚌埠市将智能传感产业列为四大产业集群之一，组建智能传感器产业招商分局开展精准招商。
围绕主导产业链，蚌埠经开区利用招商队伍、商会资源等深入沪苏浙开展延链招商、以商招商，组织龙头企业、专精特新企业、高新技术企业等主体对标学习长三角先进地区经验，开展上下游企业对接活动，推动传感器产业集群集聚发展。
聚焦企业融资难，蚌埠市组建新一代信息技术产业发展基金、新微人工智能基金、深赛智能传感器前沿投资基金等多只专项基金，同时探索科创企业投贷联动机制，撬动更多金融资源参与项目建设，支持各类传感器技术成果转化和重大项目落地。
日前，蚌埠学院“集成电路设计与集成系统专业”获批，与北方微电子研究院联合共办的“兵器微电子定制班”也正在实践中。
“未来，我们将与安徽财经大学、蚌埠医学院等高校尝试开展校企合作，联合培养更多专业技能人才，源源不断为传感谷提供智力支撑，解决传感器上下游企业用才需求，助力蚌埠传感产业做大做强。”唐广廷说。
当前，蚌埠市政府正在制定对标国内一线水平、富有竞争力的智能传感专项政策，包括研发设计、流片补贴、软件补贴、认证补贴、强链补贴、设备补贴、代工补贴、资本支持、金融支持、实训培养，覆盖全产业链和企业全生命周期。
中国（蚌埠）传感谷计划利用5年时间，吸引国内外传感器及物联网200余家优质企业，力争2025年产业规模突破200亿元。
在众多政策的加持下，蚌埠智能传感器产业生态圈雏形初显，中国（蚌埠）传感谷正成为智能传感产业企业、人才和资金的汇聚地。一座产业“新地标”在龙子湖畔加速崛起。
·采访手记·
蚌埠作为中国三大传感器基地之一，发展智能传感产业具有得天独厚的优势。
如何将产业基础优势转变为高质量发展优势？蚌埠市发挥合芜蚌国家自主创新示范区、中国（安徽）自由贸易试验区蚌埠片区、皖北承接产业转移集聚区等重大平台优势，实施创新和招商“双轮驱动”，加强核心技术攻关，持续强链延链补链，精耕细作优化产业生态，加快培育产业集群，全力打造智能传感器产业高地。
眼下，一批重大项目和优质企业相继进驻中国（蚌埠）传感谷，智能传感产业生态圈雏形初显，正在成为蚌埠在高质量发展中闯新路、推动工业振兴的新引擎。
