蚌埠新闻网记者 靳 瑾 通讯员 程国姿

10月16日，神舟十三号载人飞船升空，并成功与空间站对接。这背后，也有兵器214所3款关键核心器件的功劳——步进电机驱动电源电路、直流有刷电机驱动电路和舱内压力传感器。

别看这些器件比火柴盒还小，可是作用却不小。这三款器件分别负责调整飞船太阳能帆板的角度和充放电调节，在对接过程中自动捕捉、对准、锁紧闭合机构，以及精准测量和反映舱内压力。214所工艺二部臧子昂主任颇为自豪地介绍：千万个器件形成组件，再组成不同系统，进而组装成飞船。“关键在所有零件、系统必须环环相扣、步伐一致、稳定可靠，才能赢得最后的胜利。”

事实上，除了精密度，稳定性更是保证太空之旅“零风险”的关键，要充分考虑太空环境的超强辐射、强压力、高真空和人员、材料、设备、生产条件的变化而“岿然不动”。为此，兵器214所不断加强宇航级高可靠混合集成电路生产线的硬件和软件建设，整体提升丝网印刷、激光微调、元件粘接焊接、引线键合等工艺能力和水平，确保电路的精度和一致性，以“万无一失”来回应“苍穹之问”。

其实，不仅在穹苍之上，近年来兵器214所一直凭着MEMS拳头产品“笑傲江湖”——“MEMS”是微电子机械系统的简称，在电子、医学、工业、汽车和航空航天系统有着广泛的应用。对此，214所工艺一部主任吕东锋解释，MEMS是传感器产业发展的主流和核心技术，而国内行业发展的“卡脖子”瓶颈在制造技术。2016年，国内先进的6英寸MEMS体硅工艺线在蚌建成，涵盖完整的器件制造、封装、测试、标定、分析、可靠性验证等。“目前，我们已经开发了拥有自主知识产权国际先进、国内领先的5套完整的MEMS工艺体系，成功应用于高性能陀螺仪、加速度计等60多款MEMS器件的研制、量产。”说到研发，吕东锋的自豪溢于言表。

掌握了“关键核心技术”，214所还不断将MEMS技术向纵深延展，与业内知名高校、研究所以及龙头企业紧密协作，共同开发孵化产品，每年完成横向合作项目不少于30项。目前已孵化的产品包含MEMS惯性、光、气体、温度、压力等传感器，服务机构30余家，在国内处于前列，真正形成国内领先的“开放式MEMS加工平台”。

面向“十四五”，214所在发展战略中再次明确将MEMS列为三大核心技术之一，紧锣密鼓推进8英寸线规划建设。以“固本延链、资本补充，双翼驱动、跨越发展”，做强做优做大MEMS产业，牢牢占据行业第一方阵地位。

(完)